全自動探針台是我司自主研發設計制造的一款設備，主要對晶圓制造中(zhōng)的晶圓CP測試。本設備采用(yòng)針接觸式測試，可(kě)提供多(duō)個可(kě)調測試針及探針座；測試機與探針台直接鏈接，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸，把測試機上輸出的信号精(jīng)準地輸送至晶圓表面，快速高效的完成，對芯片進行各種電(diàn)性及光效參數測試，自動完成篩選芯片的生産(chǎn)良率和效率，進而助力芯片後續的生産(chǎn)使用(yòng)提質(zhì)增效。
全自動探針台
概述
特點
1、高效、高精(jīng)度測試，運行速度超200mm/s；
2、支持單點和連續測試；
3、測試箱與機台直連自動控制，快速切換測試針卡；
4、全自動控制系統，測試軟件簡潔高效。
适用(yòng)産(chǎn)品：
4/6/8/12″晶圓自動檢測
技(jì )術參數
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産(chǎn)品名(míng)稱 |
全自動探台針
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産(chǎn)品型号 |
P8/P12 |
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晶圓規格參數 |
6 / 8 / 12英寸 .厚度300-1000㎛ |
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Die Size |
300-76000㎛ |
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設備行程 |
X:0-350mm；Y:0-800mm，Z:0-70mm |
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設備精(jīng)度/分(fēn)辨率 |
X Y Z ≤2㎛ / 0.1㎛ |
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XYZ軸最大運行速度 |
260mm/s |
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Theta參數 |
範圍：±5° / 精(jīng)度0.001° |
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機台尺寸 |
2*1.8*1.8m（長(cháng)寬高） |
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機台重量 |
2600kg |
